從20世紀中葉開始,硅成了信息技術的關鍵材料,是目前應用最多的半導體材料.請回答-下列問題:
(1)地殼里各種元素的含量(質量分數(shù))如圖所示,其中表示硅元素的是________(填字母).
(2)根據(jù)元素周期表可知,原子序數(shù)為6的碳原子和原子序數(shù)為14的硅原子最外層電子數(shù)均為4,則常溫下硅的化學性質________(選瑣“活潑”、“不活潑”).
(3)制備硅半導體材料必須先得到高純硅,三氯甲硅烷(SiHCl3)還原法是當前制備高純硅的主要方法.生產過程示意如下:
①整個制備過程必須達到無水無氧.在H2還原SiHCl3過程中若混入O2,可能引起的后果是________.
②在生產過程中物質A可循環(huán)使用,A的化學式是________;在生產過程中還有一種可循環(huán)使用的物質是________.
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