從20世紀(jì)中葉開(kāi)始,硅成了信息技術(shù)的關(guān)鍵材料,是目前應(yīng)用最多的半導(dǎo)體材料.請(qǐng)回答-下列問(wèn)題:
(1)地殼里各種元素的含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))如圖所示,其中表示硅元素的是________(填字母).
(2)根據(jù)元素周期表可知,原子序數(shù)為6的碳原子和原子序數(shù)為14的硅原子最外層電子數(shù)均為4,則常溫下硅的化學(xué)性質(zhì)________(選瑣“活潑”、“不活潑”).
(3)制備硅半導(dǎo)體材料必須先得到高純硅,三氯甲硅烷(SiHCl3)還原法是當(dāng)前制備高純硅的主要方法.生產(chǎn)過(guò)程示意如下:
①整個(gè)制備過(guò)程必須達(dá)到無(wú)水無(wú)氧.在H2還原SiHCl3過(guò)程中若混入O2,可能引起的后果是________.
②在生產(chǎn)過(guò)程中物質(zhì)A可循環(huán)使用,A的化學(xué)式是________;在生產(chǎn)過(guò)程中還有一種可循環(huán)使用的物質(zhì)是________.
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